疫情將飽和醫(yī)療行業(yè)推向前沿,國外疫情的傳播使國內(nèi)呼吸機行業(yè)迅速崛起。隨著交易量的增加,壓力傳感器市場蓬勃發(fā)展。
壓力傳感器是將壓力轉(zhuǎn)換為電信號輸出的傳感器。
壓力傳感器種類繁多,如電阻應(yīng)變壓力傳感器、半導(dǎo)體應(yīng)變壓力傳感器、電阻壓力傳感器、電感壓力傳感器、電容壓力傳感器、諧振壓力傳感器等。
壓阻壓力傳感器目前應(yīng)用廣泛,價格極低,精度高,線性特性好。
壓阻壓力傳感器由單晶硅的壓阻效應(yīng)組成。以單晶硅片為彈性元件,在單晶硅片上采用集成電路工藝,在單晶硅的特定方向擴散一組等值電阻,將電阻連接成橋梁,將單晶硅片放置在傳感器腔內(nèi)。當壓力發(fā)生變化時,單晶硅產(chǎn)生應(yīng)變,使應(yīng)變電阻與被測壓力成正比,然后橋梁電路獲得相應(yīng)的電壓輸出信號。
電阻壓力傳感器主要基于電阻效應(yīng)。電阻效應(yīng)用于描述機械應(yīng)力下材料的電阻變化。與上述壓電效應(yīng)不同,電阻效應(yīng)只產(chǎn)生電阻變化而不產(chǎn)生電荷。
廣泛使用電阻傳感器。例如,用于測量直升機翼的氣流壓力分布、發(fā)動機進氣口的動態(tài)畸變、葉柵的脈動壓力和機翼的抖動。
在測量飛機噴氣發(fā)動機中心壓力時,專門設(shè)計的硅壓力傳感器的工作溫度在500℃以上。配套的硅壓力傳感器采用波音客機大氣數(shù)據(jù)測量系統(tǒng)。在試驗過程中,可密集安裝在風洞進口和發(fā)動機進氣管模型中。單傳感器直徑僅2.36mm,固有頻率高達300kH,非線性和滯后為0.22%。
阻力傳感器也是生物醫(yī)學(xué)的理想檢測工具。注射針壓力傳感器薄至10微米,外徑僅0.5毫米,可測量心血管、顱內(nèi)、尿道、子宮和眼球壓力。
電阻傳感器還有效地用于測量爆炸壓力和沖擊波、真空測量、監(jiān)測和控制汽車發(fā)動機的性能,以及測量槍中的壓力和發(fā)射沖擊波。電阻傳感器廣泛應(yīng)用于油井壓力測量、鉆井測量和地下密封電纜故障點測量、流量和液位測量。隨著微電子技術(shù)和計算機的進一步發(fā)展,電阻傳感器的應(yīng)用也將迅速發(fā)展。