壓力傳感器的工作原理是介質(zhì)壓力直接作用在傳感器膜上,使壓力傳感器膜與介質(zhì)壓力成正比,從而改變傳感器的電阻,改變電子線路檢測,轉(zhuǎn)換與這種壓力相對應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)信號。在規(guī)定范圍內(nèi),當(dāng)測量值增加或減少時,輸出值最大化。延遲是指輸出信號變化與輸入信號變化相比的時間延遲。
壓力傳感器的主要參數(shù)是:-0.1~0~1~150(MPa),綜合精度:0.1%FS,0.25%FS,1.0%FS,0.5%FS,輸出信號:0~5V,1~5V,0~10V(三線制),4~20mA(二線制),零點溫漂移:≤±0.05%FS℃,測量溫度漂移:≤±0.05%FS℃,補(bǔ)償溫度為:0~70℃,安全過載為:150%FS,極限過載為:200%FS,響應(yīng)時間為5mS(上升至90%FS)。
壓力傳感器使用中最重要的性能是傳感器的應(yīng)用,它可以有效地測量感覺,并按照一定的規(guī)律轉(zhuǎn)換為可用的輸出信號,通常由敏感元件和轉(zhuǎn)換元件組成。敏感元件是指傳感器中可以直接或相應(yīng)測量的部分,轉(zhuǎn)換元件是指傳感器中可以感覺到或響應(yīng)的被測量轉(zhuǎn)換為傳輸和測量的電信號部分。當(dāng)壓力傳感器輸出為規(guī)定的標(biāo)準(zhǔn)信號時,它被稱為變送器。壓力傳感器的測量范圍允許在誤差范圍內(nèi)測量值的一定范圍內(nèi)。
當(dāng)壓力傳感器的力作用于硅晶體時,晶體中的晶格變形,使載流子從一個能量谷散射到另一個能量谷,進(jìn)而引起載流子遷移率的變化,擾動載流子的縱向和橫向平均量,從而適當(dāng)改變硅的電阻率。這種壓力傳感器的變化因晶體取向而異,因此硅的壓阻效應(yīng)與晶體取向直接相關(guān)。硅的壓阻效應(yīng)不同于金屬應(yīng)變計。前者的電阻主要取決于電阻率的變化,后者的電阻變化取決于幾何尺寸的變化,前者的靈敏度比后者大0~5倍。