硅微壓力傳感器主要分為兩類：電容式和壓阻式。該電容式壓力傳感器包括作為可變空氣電容器極板的薄膜，該薄膜在壓力作用下會產生位移，從而改變電容值，利用該變化通過相應的電路來獲得壓力值。壓阻傳感器是利用硅材料在壓力作用下產生電阻變化的原理制作而成，通常由4個硅材料的應變電阻組成惠斯通電橋來測量壓力。
而且硅微壓力傳感器具有體積小、重量輕、不動件少、可靠性高、可大規(guī)模生產等特點，因此成本也較低。由于傳感器具有可靠性高、成本低等特點，符合汽車工業(yè)的要求，所以硅微壓力傳感器在汽車工業(yè)中的應用十分廣泛。例如自動制動系統(tǒng)的面壓、輪胎壓力、氣囊壓力、傳動系統(tǒng)的液壓、噴射系統(tǒng)的液壓、噴射燃油壓力、發(fā)動機機油壓力、進氣管道壓力等均有硅微型壓力傳感器可用。
與此同時，在醫(yī)療保健領域中，硅微型壓力傳感器最大的應用產品是血壓監(jiān)測儀。據(jù)說，一些大型醫(yī)療機械制造企業(yè)每年使用約500萬個壓力傳感器。另外，諸如女性難產時用于監(jiān)測子宮壓力的硅微壓力傳感器、靜脈注射用于監(jiān)測藥液流動的傳感器等，市場需求也很大。在醫(yī)療保健領域，許多其它應用也在不斷地開發(fā)，因此，這種傳感器在醫(yī)療保健領域的發(fā)展前景也十分可觀。
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