微機電系統(tǒng)是集微傳感器、微執(zhí)行器、微機械機構(gòu)、信號處理與控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信和電源于一體的微器件或系統(tǒng)。它具有體積小、成本低、集成度高的特點。除了智能手機，微機電系統(tǒng)傳感器還將廣泛應用于AR/VR、可穿戴、智能駕駛、智能工廠、智能物流、智能家居、環(huán)境監(jiān)測、智能醫(yī)療等物聯(lián)網(wǎng)領(lǐng)域等消費電子產(chǎn)品。
1.可穿戴設(shè)備應用:以小米手環(huán)為例，采用加速度和心率傳感器監(jiān)測運動和心率。除了微機電加速度計、陀螺儀和微機電麥克風，一些機電系統(tǒng)還使用脈沖傳感器。
2.VR應用:VR設(shè)備需要精確測量頭部旋轉(zhuǎn)的速度、角度和距離。利用微機電系統(tǒng)加速度計、陀螺儀和磁力計進行測量是重要的解決方案之一，幾乎已經(jīng)成為虛擬現(xiàn)實設(shè)備的標準。微機電系統(tǒng)加速度計和陀螺儀用于VR，微機電系統(tǒng)眼球跟蹤技術(shù)未來可能用于VR設(shè)備。
3.無人機應用:在無人機飛行姿態(tài)控制技術(shù)中，傳感器有顯示空間。結(jié)合加速度計和陀螺儀，可以計算角度變化，確定位置和飛行姿態(tài)。微機電系統(tǒng)傳感器可以在各種惡劣條件下正常工作，獲得高精度輸出。微機電系統(tǒng)加速度計和陀螺儀在無人機上的應用可謂輝煌。
4.車聯(lián)網(wǎng)的應用:車聯(lián)網(wǎng)是物聯(lián)網(wǎng)發(fā)展的一個重要領(lǐng)域。智能汽車是車聯(lián)網(wǎng)的核心，并且正在高速發(fā)展。在智能汽車時代，主動安全技術(shù)已經(jīng)成為一個新的關(guān)注領(lǐng)域，有必要對現(xiàn)有的主動安全系統(tǒng)進行改進，如翻車和穩(wěn)定性控制，這需要微機電系統(tǒng)加速度傳感器和角速度傳感器來感知人體姿態(tài)。語音將成為人與智能汽車之間重要的交互方式，而麥克風將迎來新的發(fā)展機遇。傳感器在汽車領(lǐng)域有很多應用，包括氣囊(正面防撞氣囊用高G值加速度計，側(cè)面氣囊用壓力傳感器)，汽車發(fā)動機(進氣歧管絕對壓力傳感器，檢測進氣量的流量傳感器)等等。
5.自動駕駛應用:自動駕駛技術(shù)的興起，進一步推動了傳感器引入汽車。GPS接收機雖然可以計算出自己的位置和速度，但在GPS信號差(地下車庫、隧道)和信號受到干擾時，會影響汽車導航，這對自動駕駛來說是一個致命的缺陷。利用微機電系統(tǒng)陀螺儀和加速度計獲得速度和位置(角速度和角位置)，車輛的任何微小運動和傾斜姿態(tài)都被轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號，通過總線傳輸?shù)津?qū)動計算機。即使在最快的速度下，微機電系統(tǒng)的精度和反應速度也能適應。由于硅微加工和晶片鍵合技術(shù)的發(fā)展，精度已經(jīng)上升到0.01。
6.工業(yè)應用:微機電系統(tǒng)使傳感器小型化、智能化。微機電系統(tǒng)傳感器將在智能工業(yè)時代大有可為。微機電系統(tǒng)溫濕度傳感器可用于檢測環(huán)境條件，微機電系統(tǒng)加速度計可用于監(jiān)測工業(yè)設(shè)備的振動和轉(zhuǎn)速。高精度的微機電系統(tǒng)加速度計和陀螺儀可以為工業(yè)機器人的導航和旋轉(zhuǎn)提供準確的位置信息。
深圳市力準傳感技術(shù)有限公司是專業(yè)生產(chǎn)高品質(zhì)、高精度力傳感器的廠家。產(chǎn)品廣泛應用于多種新型和智能化高端領(lǐng)域，包括工業(yè)自動化生產(chǎn)線、3C、新能源、機器人、機械制造、醫(yī)療、紡織、汽車、冶金以及交通等領(lǐng)域。
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