越來越多的地區(qū)頒布了禁止將燃料蒸汽排放到大氣中的法律法規(guī)。因此，使用EVAP(蒸發(fā))系統(tǒng)檢測燃料壓力蒸汽變得越來越重要。在燃油箱和曲軸箱中，蒸汽會積聚，EVAP系統(tǒng)可以捕捉、儲存和處理蒸汽，防止蒸汽脫離空氣。能夠測量極低壓力的壓力傳感器集成電路是系統(tǒng)的重要組成部分，因為傳感器可以檢測到EVAP系統(tǒng)任何位置可能發(fā)生的極小泄漏。
相對壓力傳感器的測量范圍、可靠性、穩(wěn)定性和精度足以應對內(nèi)燃機和混合動力發(fā)動機的EVAP系統(tǒng)。通過這樣的出廠校準，可以定制校準每個獨立應用的傳感器集成電路，一級廠商和模塊廠商可以標準化上述兩種發(fā)動機的單一設(shè)計。傳感器集成電路的包裝非常可靠，易于密封。經(jīng)過認證，可以在-40℃至+150℃的溫度范圍內(nèi)運行，提供全面的PAP支持。
混合動力車的燃料蒸汽壓力測量更加復雜，需要更強的傳感解決方案。此外，集成電路(內(nèi)燃機)和混合動力中的EVAP系統(tǒng)可能配備多個壓力傳感器集成電路，因此采用靈活簡單的設(shè)計非常重要。相對壓力傳感器尺寸小，幾乎可以用于任何尺寸的模塊，也可以通過系統(tǒng)實現(xiàn)高度集成。這是一個設(shè)計簡單的解決方案，即插入使用。DSP提供模擬輸出和SENT輸出，可以充分利用SENT界面的快速通道，增加診斷信息和客戶定制信息。相對壓力傳感器提供汽車所需的多種診斷功能，包括鉗位級別、斷路跟蹤診斷和各種內(nèi)部故障診斷。
系統(tǒng)級封裝方案采用背面蝕刻技術(shù)制造的MEMS傳感器。因此，當傳感器元件暴露在燃料蒸汽或其他介質(zhì)的惡劣環(huán)境中時，污染物具有很高的介質(zhì)兼容性。該系統(tǒng)的CMOS部分可以提供靈活的設(shè)計，整個傳感器可以提供極高的EMC保護和抗干擾性，通過簡單的設(shè)計可以集成到ICE和混合動力汽車的EVAP系統(tǒng)中。
每個傳感器集成電路在最的生產(chǎn)步驟中校準，將壓力傳輸曲線和鉗位電平保存在內(nèi)部EEPROM中。通過成比例的模擬輸出或SENT輸出，供溫度測量結(jié)果。當應用程序需要輸出被測介質(zhì)的精確溫度測量值時，可以選擇使用外部NTC，溫度補償后輸出溫度值。
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