簡(jiǎn)述電容式壓力傳感器及表面彈性波形壓力傳感器。
電容式壓力傳感器：
利用氧化鋁薄膜和底板相互靠近排列形成電容器，利用電容器薄膜上下壓差變化的性質(zhì)，得到與壓力成正比的電容器值信號(hào)。將電容器連接到傳感器混合集成電路的振動(dòng)電路上，傳感器產(chǎn)生變頻信號(hào)。輸出頻率與進(jìn)氣壓力成正比，在80.120Hz之間發(fā)生變化。
表面彈性波形壓力傳感器:
用超聲波加工薄膜敏感區(qū)域的壓電基板，雕刻更換器(壓敏SAW延遲線)，將更換器和電路組合成振動(dòng)器。
傳感器是在研磨過(guò)的壓電基板上設(shè)置兩個(gè)金屬叉，當(dāng)輸入傳感器叉在T1上添加電信號(hào)時(shí)，反壓電效應(yīng)在基板壽命面上激發(fā)彈性表面波，傳播到傳感器文指T2，變成電信號(hào)，擴(kuò)大后反饋T1，保持振動(dòng)狀態(tài)。兩個(gè)交換叉之間的表面彈性波傳播時(shí)間是延遲時(shí)間，其大小取決于兩個(gè)交換叉之間的距離。
由于進(jìn)氣分支管的壓力作用于壓電基板，壓力變化在薄膜敏感區(qū)域發(fā)生變化，即使交換叉指間距發(fā)生變化。因此，表面彈性波傳播的延遲時(shí)間發(fā)生了相應(yīng)的變化。這樣，壓力信號(hào)可以根據(jù)振動(dòng)頻率與延遲時(shí)間成反比輸出。
頻率壓力傳感器的信號(hào)電壓一般為5V或12V。當(dāng)空氣流量發(fā)生變化時(shí)，電壓始終保持不變，輸出的脈沖頻率也發(fā)生變化，因此流量的變化不能根據(jù)測(cè)量電壓來(lái)確定。
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